MEMS steht für Mikroelektromechanische Systeme (Micro-Electro-Mechanical Systems)
MEMS bestehen aus Komponenten mit Größen zwischen 1 und 100 Mikrometern (d. h. 0,001 bis 0,1 mm), und MEMS-Bauelemente liegen in der Regel im Bereich von 20 Mikrometern bis zu einem Millimeter (d. h. 0,02 bis 1,0 mm). Komponenten, die in Arrays angeordnet sind (z. B. digitale Mikrospiegelbauelemente), können jedoch eine Fläche von mehr als 1000 mm² erreichen.
In der Regel bestehen MEMS aus einer zentralen Einheit zur Datenverarbeitung (dem Mikroprozessor) sowie mehreren Komponenten, die mit der Umgebung interagieren, wie beispielsweise Mikrosensoren.[1] Aufgrund des großen Oberflächen-zu-Volumen-Verhältnisses spielen bei MEMS Kräfte durch Umwelteinflüsse – etwa elektromagnetische Effekte (z. B. elektrostatische Ladungen und magnetische Momente) sowie strömungsmechanische Effekte (z. B. Oberflächenspannung und Viskosität) – eine deutlich größere Rolle als bei makroskopischen mechanischen Systemen.
Die MEMS-Technologie unterscheidet sich von molekularer Nanotechnologie oder molekularer Elektronik dadurch, dass bei letzteren zusätzlich auch Oberflächenchemie berücksichtigt werden muss.
