Der Begriff Fotolithografie stammt aus dem Lateinischen und setzt sich aus den Wörtern für Licht, Stein und Schreiben zusammen. Mit anderen Worten bedeutet Fotolithografie „Schreiben mit Licht“. Dieses Verfahren wurde 1855 von Alphonse Poitevin erfunden.
Um das gewünschte Muster auf der Mylar-Oberfläche zu erzeugen, wird ein Fotolack (Photoresist) auf die Oberfläche aufgetragen. Anschließend wird intensives UV-Licht auf das mit Fotolack beschichtete Mylar gerichtet, wodurch eine chemische Reaktion ausgelöst wird, die das gewünschte Muster oder die gewünschten Strukturen erzeugt. Während der Entwicklung wird der überschüssige Fotolack ausgewaschen. Dieser Prozess kann beliebig oft wiederholt werden, um die gewünschten Effekte und Strukturen zu erreichen.
Erfahren Sie mehr darüber, wie Fotolithografie funktioniert und welche Rolle sie im chemischen Ätzen spielt:
Video mit freundlicher Genehmigung von PCMI
